| 摘要 |
<p>【課題】微小電子機械システムレーザービーム走査装置の二片式ｆθレンズを提供する。【解決手段】第一レンズ１３１と第二レンズ１３２を有し、第一レンズは正ディオプターでメニスカスの凸面をＭＥＭＳ反射ミラー側に設けるレンズから構成し、第二レンズは正ディオプターでメニスカスの凸面または凹面をＭＥＭＳ反射ミラー側に設けるレンズから構成する。そのうち、第一レンズは第一光学面と第二光学面を有し、ＭＥＭＳ反射ミラーの反射角度と時間が非線型性関係の走査光線を距離と時間が線型性関係を有する走査光線光点に置き換える。第二レンズは第三光学面と第四光学面を有し、第一レンズの走査光線を修正した上目標物に集光し、第一レンズと第二レンズとも特定の光学条件を満足する。第一レンズと第二レンズを設けることにより、線型性走査効果と高解像度を実現できる。【選択図】図３Ａ</p> |
