摘要 |
<p>【課題】微小電子機械システムレーザービーム走査装置の二片式fθレンズを提供する。【解決手段】第一レンズ131と第二レンズ132を有し、第一レンズはメニスカスの凹面をMEMS反射ミラー側に設けて構成し、第二レンズはメニスカスまたは双凹型レンズより構成する。そのうち、第一レンズは第一光学面と第二光学面を有し、MEMS反射ミラーの反射角度と時間が非線型性関係の走査光線を距離と時間が線型性関係を有する走査光線スポット2に置き換える。第二レンズは第三光学面と第四光学面を有し、第一レンズの走査光線を修正した上、目標物に集光する。それに伴い、第一レンズと第二レンズとも特定の光学数式を満足し、第一レンズと第二レンズを設けることにより、線型性走査効果と高解析度を実現できる。【選択図】図3A</p> |