发明名称 其中形成有通孔的物体以及激光加工方法
摘要 一种利用脉冲激光束在工件(1)内形成通孔的加工方法,包括如下步骤:在工件(1)上提供可移除的牺牲层(1a),在提供牺牲层(1a)的状态下通过激光束在工件内形成通孔(5),并在形成通孔的步骤之后从工件移除牺牲层。
申请公布号 CN101448604A 申请公布日期 2009.06.03
申请号 CN200780018223.9 申请日期 2007.05.17
申请人 住友电气工业株式会社;国立大学法人京都大学 发明人 三岛英彦;奥田泰弘;阪部周二;桥田昌树;清水政二
分类号 B23K26/38(2006.01)I;B23K26/18(2006.01)I;B23K101/42(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I 主分类号 B23K26/38(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 林月俊;安 翔
主权项 1. 一种利用脉冲激光束在工件内形成通孔的激光加工方法,包括如下步骤:在所述工件上提供可移除的牺牲层;在提供所述牺牲层的状态下,通过激光束在所述工件内形成通孔;以及在形成该通孔的所述步骤之后,从所述工件移除所述牺牲层。
地址 日本大阪府