接触式压力传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种接触式压力传感器(10)和一种制造接触式压力传感器的方法，该压力传感器用来检测两表面之间的接触压力。本发明公开的接触式压力传感器包括用来支撑该传感器的基体(40)和接触式压敏层(26)，该压敏层对施加在接触式压力传感器上的压力非常敏感。本发明公开的方法还包括将在第一处理支撑基体(20)上制造的加工后结构(8)从该第一处理支撑基体转接到接触式压力传感器的第二支撑基体(40)上。

主权项

1. 一种接触式压力传感器，其包括：基体；接触式压敏层，其包括具有压敏电阻特性的材料，该接触式压敏层具有与基体不同的晶格结构；设置在接触式压敏层和基体之间的支撑层，该支撑层具有与接触式压敏层的晶格结构匹配的结构；设置在接触式压敏层和基体之间的导电层；其中所述接触式压力传感器是按照下述方式设置的，所述方式为施加在传感器上的压力施加在接触式压敏层的两侧。