发明名称 |
材料制备成膜的方法及其有机电致发光器件 |
摘要 |
本发明提供了一种高速的形成致密连续的薄膜的方法和由此方法制备的有机电致发光器件。本发明的技术方案是:一种材料的成膜方法,用多个蒸发源同时对同一种材料进行蒸镀。多个蒸发源的蒸镀速率可以不同。一种有机电致发光器件,该器件中至少一种材料是用多源蒸镀的成膜方法制成的。多个蒸镀源中至少两个源的蒸镀速率可以是不同的。本发明的有益效果是成膜速率高,形成的薄膜更加致密连续,由此方法制得的有机电致发光器件的电压低、亮度高、效率高、寿命长。 |
申请公布号 |
CN100496174C |
申请公布日期 |
2009.06.03 |
申请号 |
CN200510080473.8 |
申请日期 |
2005.07.05 |
申请人 |
清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
发明人 |
邱勇;张德强;张祝新;高裕弟 |
分类号 |
H05B33/10(2006.01)I;H05B33/14(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I |
主分类号 |
H05B33/10(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
1、一种将材料制备成膜的方法,其特征在于用多个蒸发源同时对同一种材料进行蒸镀。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华园清华大学工物馆209A房间 |