发明名称 |
修整可控型超精密抛光机 |
摘要 |
一种修整可控型超精密抛光机,包括机座、抛光盘、抛光盘驱动电机、测速机构、智能控制平台、修整环、直线导轨、往复运动驱动机构、径向移动驱动电机以及旋转驱动电机,基座上安装支架板,支架板安装基盘保持架,两根直线导轨水平安装在支架板的下方,径向移动驱动电机安装在支架板上,径向移动驱动电机与往复运动驱动机构传动连接,往复运动驱动机构可水平滑动地套装在直线导轨上,修整环安装在往复运动驱动机构的下方,旋转驱动电机与往复运动驱动机构固定连接,旋转驱动电机的输出轴与修整环传动连接,修整环位于抛光盘的基盘覆盖以外区域的上方。本发明实现在线修整抛光垫的平面精度、使加工周期缩短、加工后的工件表面具有良好的均匀度。 |
申请公布号 |
CN100493846C |
申请公布日期 |
2009.06.03 |
申请号 |
CN200710157005.5 |
申请日期 |
2007.11.20 |
申请人 |
浙江工业大学 |
发明人 |
袁巨龙;邓乾发;陈锋;陶黎;方海生;王志伟;吕冰海;杨翊 |
分类号 |
B24B37/00(2006.01)I;B24B41/04(2006.01)I;B24B47/12(2006.01)I |
主分类号 |
B24B37/00(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天正专利事务所有限公司 |
代理人 |
王 兵;王利强 |
主权项 |
1、一种修整可控型超精密抛光机,包括机座、抛光盘、抛光盘驱动电机、测速机构和智能控制平台,所述的抛光盘通过主轴安装在机座上,所述抛光盘驱动电机的输出轴与主轴传动连接,所述主轴与测速机构传动连接,所述的机座上安装支架板,所述的支架板安装基盘保持架,所述的基盘保持架设有弧形段,所述弧形段的弧度不小于π/2,所述的弧形段上安装有摩擦轮,摩擦轮个数至少为2个,基盘嵌入所述弧形段并靠接在摩擦轮上,且所述基盘与所述弧形段之间有间隙,所述的基盘位于抛光盘的上方;其特征在于:所述的超精密抛光机还包括修整环、两根直线导轨、往复运动驱动机构、径向移动驱动电机以及旋转驱动电机,所述的两根直线导轨水平安装在支架板的下方,所述的径向移动驱动电机安装在支架板上,所述的径向移动驱动电机与往复运动驱动机构传动连接,所述往复运动驱动机构可水平滑动地套装在直线导轨上,所述的修整环安装在往复运动驱动机构的下方,所述旋转驱动电机与往复运动驱动机构固定连接,所述旋转驱动电机的输出轴与修整环传动连接,所述的修整环位于抛光盘的基盘覆盖以外区域的上方;所述的智能控制平台连接抛光盘驱动电机、测速机构、径向移动驱动电机和旋转驱动电机。 |
地址 |
310014浙江省杭州市下城区朝晖六区 |