压电陶瓷驱动器抗蠕变驱动方法

摘要

压电陶瓷驱动器抗蠕变驱动方法，其特征是设置二级反向施压的驱动方法，在驱动电压按ΔV变化后，按第一阶段和第二阶段分别呈台阶式反向施压；第一个阶段中，为抵消大量变形滞后的90度电畴、克服蠕变发生，反向施加变化幅值为a1、周期为b1的阶跃式驱动电压；第二阶段中，为克服逐渐驱缓的蠕变量，反向施加变化幅值为a2、周期为b2的阶跃式驱动电压，其中，a1大于a2、b1小于b2。本发明有效解决了压电陶瓷位移放大机构在一定范围内虽然克服压电陶瓷驱动器位移行程小的缺点，但同时也放大了压电陶瓷蠕变的弊端，为高精度、大行程微驱动控制的实现提供了科学的依据。

主权项

1、压电陶瓷驱动器抗蠕变驱动方法，其特征是设置二级反向施压的驱动方法，在驱动电压按△V变化后，按第一阶段和第二阶段分别呈台阶式反向施压：在所述第一阶段中，为抵消大量变形滞后的90度电畴、克服蠕变发生，反向施加变化幅值为a1、周期为b1的阶跃式驱动电压；在所述第二阶段，为克服逐渐驱缓的蠕变量，反向施加变化幅值为a2、周期为b2的阶跃式驱动电压，其中，a1大于a2、b1小于b2。