发明名称 |
Elektrische Anordnung und Verfahren |
摘要 |
Es werden eine elektrische Anordnung und ein Verfahren offenbart. Eine Ausführungsform stellt ein Substrat, einen vollständig über einem ebenen Schnitt einer Oberfläche des Substrats angeordneten Sensorchip bereit. Über dem Substrat und dem Sensorchip wird eine strukturell homogene Materialschicht angeordnet. Zwischen dem Substrat und der Materialschicht wird ein Hohlraum gebildet. Der Sensorchip wird in dem Hohlraum angeordnet. |
申请公布号 |
DE102008057297(A1) |
申请公布日期 |
2009.05.28 |
申请号 |
DE20081057297 |
申请日期 |
2008.11.14 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KILGER, THOMAS;THEUSS, HORST |
分类号 |
H01L23/053;H01L21/52;H01L21/60;H01L23/50 |
主分类号 |
H01L23/053 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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