发明名称 Optisches System
摘要 Die Erfindung betrifft ein optisches System mit einer optischen Achse (OA) und wenigstens einem Polarisationsmanipulator (100, 200), welcher wenigstens ein Teilelement (51, 52, 53a, 53b, 54a, 54b, 110, 210) aufweist, das eine nicht-plane, optisch wirksame Oberfläche aufweist und für hindurchtretendes Licht eine Änderung des Polarisationszustandes bewirkt, wobei eine maximale durch das Teilelement (51, 52, 53a, 54a, 54b, 110, 210) entlang der optischen Achse (OA) eingeführte effektive Verzögerung weniger als ein Viertel der Arbeitswellenlänge des optischen Systems beträgt, und einem Positionsmanipulator (150, 250) zur Manipulation der Position dieses Teilelementes (51, 52, 53a, 53b, 54a, 54b, 110, 210).
申请公布号 DE102007055567(A1) 申请公布日期 2009.05.28
申请号 DE200710055567 申请日期 2007.11.20
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 MUELLER, RALF;GRUNER, TORALF
分类号 G02B27/28;G02B1/02;G02B5/30;G03F7/20 主分类号 G02B27/28
代理机构 代理人
主权项
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