| 发明名称 | 抛光垫 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供在宽波长范围(特别是短波长侧)内光学检测精度优良、并且可以防止抛光区域和光透过区域之间浆料漏出的抛光垫。一种抛光垫，在由抛光区域和光透过区域构成的抛光层的单面上至少层压透明支撑膜，其特征在于，至少包含光透过区域和透明支撑膜的光学检测区域的光透过率在波长300～400nm的整个范围内为40％以上。 | ||
| 申请公布号 | CN101443157A | 申请公布日期 | 2009.05.27 |
| 申请号 | CN200780017751.2 | 申请日期 | 2007.05.15 |
| 申请人 | 东洋橡胶工业株式会社 | 发明人 | 福田武司;广濑纯司;中井良之;木村毅 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;郭国清 |
| 主权项 | 1. 一种抛光垫，在由抛光区域和光透过区域构成的抛光层的单面上至少层压透明支撑膜，其特征在于，至少包含光透过区域和透明支撑膜的光学检测区域的光透过率在波长300～400nm的整个范围内为40％以上。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||