发明名称 防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件的收纳容器及收纳方法
摘要 本发明的目的在于提供一种防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件用的防护薄膜组件收纳容器、及将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内的方法,特别是在大型防护薄膜组件中,可不使用隔离部而将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内。为达成上述目的,在防护薄膜框架的遮罩粘接剂侧端面的一部分上形成未涂布遮罩粘接剂的区域,将该未涂布区域载置于设置在防护薄膜组件收纳容器内部且由聚硅氧烷凝胶等材料所构成的防护薄膜框架支持部上,再来,利用可插入设置在防护薄膜框架侧面上的孔部内的固定销与固定销的保持机构将防护薄膜框架保持固定在防护薄膜组件收纳容器内。由于不使用隔离部也能保护粘接层,故无须设置隔离部。
申请公布号 CN101441405A 申请公布日期 2009.05.27
申请号 CN200810178631.7 申请日期 2008.11.21
申请人 信越化学工业株式会社 发明人 关原一敏
分类号 G03F1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B65D85/00(2006.01)I 主分类号 G03F1/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1、一种防护薄膜组件,其特征为:在防护薄膜框架中,在形成有粘贴在遮罩上所需的粘接剂层的面内的一部分上,形成未涂布遮罩粘接剂的区域;且在该防护薄膜框架的侧面上设置非贯通的孔部,固定销可插入该孔部,以防护薄膜框架的上下端面不接触防护薄膜组件收纳容器的方式固定该防护薄膜组件。
地址 日本东京都