发明名称 METHOD OF FORMING A METAL-LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20090052517(A) 申请公布日期 2009.05.26
申请号 KR20070119050 申请日期 2007.11.21
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, EUN SOO;KIM, SUK JOONG;CHO, JONG HYE
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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