发明名称 BLADE FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20090051521(A) 申请公布日期 2009.05.22
申请号 KR20070117954 申请日期 2007.11.19
申请人 TES CO., LTD. 发明人 KIM, WON JOONG
分类号 H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址