尤其适用于微系统技术领域，运用干涉测量和基于成像处理进行组合式几何测量的设备和方法

摘要

本发明设备包括物镜(8)，它基本上能以两种不同的测量模式进行测量。在第一中干涉模式中，干涉-光学地对测量对象(9)进行测量。在第二种成像处理模式中，类似摄像机构造的检测器阵列(12)上生成光学图像，并将图像传输到图像处理程序。通过设备光路不同位置照明装置(从摄像机看时)的转换，一个在光束分离器前，另一个在光束分离器的后面，可以实现两种测量模式之间的转换，它将基准光路结合到光路中。

主权项

1. 一种在干涉成像模式中，通过干涉测量对测量对象(9)进行干涉检测，以及在光学成像处理模式中，通过对测量对象的光学图像进行记录和数字分析的非干涉成像，实现对测量物体成像和/或测量的设备。该设备包括：物镜(8)：它确定光路，用于接收来自测量对象(9)的光，并将其传输到图像接收装置(12)；第一光束分离器(2)确定：基准光路(3)与反射器(4)一起，哪个安置在光路中；第一发光装置(1a)，用于照明测量对象(9)，它与光路一起，使发射的光导入基准光路(3)和光路；第二照明装置(1b)，在它的光远离基准光路时，用于照明测量对象(9)。