用喷头直接写线路的方法

摘要

用喷头直接写线路的方法，该方法是通过计算机控制喷打装置，将化学源按照事先编制好的线路喷打在基片上，发生化学反应并沉积得到所需的薄膜，即应用化学气相沉积法来实现的。本发明的特点在于：构思新颖独特，在微电子技术领域用喷头直接写线路的方法具有独创性；方法简单且精度高，由于计算机控制完全可以满足对线路喷打准确性的要求；应用本发明可以省略至少七道工序，而且其中包括了光刻等设备投资巨大的几道工序，提高了生产效率和产品的合格率，大大降低生产及环保成本；本发明可以生长绝缘体、半导体和导体薄膜，能够满足集成电路制作过程中的要求；解决了大屏幕板、太阳能电池板等大型基板电路制作难的问题。

主权项

1、用喷头直接写线路的方法，该方法是通过计算机控制喷打装置，将化学源按照事先编制好的线路喷打在基片上，发生化学反应并沉积得到所需的薄膜，既应用化学气相沉积法来实现的，上述喷打装置，包括机械马达(4)，它还包括反应腔体(1)，反应腔体(1)内设有机械手(3)，机械手(3)内装有通气管(6)，通气管(6)的上端与喷头(2)连接，通气管(6)的下端插入化学气瓶(7)中，上述机械手(3)与机械马达(4)连接，机械马达(4)与计算机连接。