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发明名称 NANO-STRUCTURES MANUFACTURING EQUIPEMENT HAVING PARTLY CONTROLLABLE SUBSTRATE IN TEMPERATURE AND MANUFACTURING METHOD OF NANO-STRUCTURES
摘要
申请公布号 KR20090051016(A) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20090029477 申请日期 2009.04.06
申请人 UNIVERSITY-INDUSTRY COOPERATION GROUP OF KYUNG HEE UNIVERSITY 发明人 KIM, CHIN KYO;LEE, SANG HWA
分类号 H01L21/683;H01L21/02;H01L21/687 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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