Methode zur Herstellung einer Vorrichtung,申请号DE20036027119-传众专利搜索

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发明名称	Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE60327119(D1)	申请公布日期	2009.05.20
申请号	DE20036027119	申请日期	2003.10.16
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	OTTENS, JOOST JEROEN;BOX, WILHELMUS JOSEPHUS;VAN ELP, JAN
分类号	G03F7/20;H01J37/302;H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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