多通道非晶硅太阳能板激光刻膜机

摘要

本发明涉及一种多通道非晶硅太阳能板激光刻膜机，它包括激光模块、全反镜、分束镜、高反射镜、扩束镜、主动调Q开关、倍频晶体、聚焦镜和X-Y机械平台。其特征是由激光模块、全反镜、高反射镜、主动调Q开关和倍频晶体产生的倍频激光，经过扩束镜扩束准直，再经过分束镜，全反镜多次反射或透射，经过聚焦镜聚焦形成四路倍频激光，依附机械平台在X或Y轴向运动，可实现多路同时对太阳能电池板的加工。本发明构思新颖，设计合理，工艺规范，可满足不同规格的太阳能电池基板加工要求，具有加工成本低廉、设备占地较小等特点，能尽快地形成工业化批量生产。本发明可以广泛应用于薄膜太阳能电池工艺流程中的底层电极，光伏效应层和表面欧姆接触电极层的刻划工艺。

主权项

1. 一种多通道非晶硅太阳能板激光刻膜机，它包括激光模块(1)，全反镜A(2)，高反射镜(3)，主动调Q开关(4)，非线性倍频晶体(5)，扩束镜(7)，分束镜A(8)，分束镜B(9)，全反镜B(10)，分束镜C(11)，全反镜C(12)，全反镜D(13)，聚焦镜A(14)，聚焦镜B(15)，聚焦镜C(16)，聚焦镜D(17)和X-Y机械平台(18)，其特征是，激光模块(1)与全反镜A(2)，高反射镜(3)，主动调Q开关(4)形成脉冲基频激光，该基频激光通过非线性倍频晶体(5)进行腔内倍频，产生倍频激光(6)，倍频激光(6)透过高反射镜(3)输出；输出的倍频激光(6)经过扩束镜(7)进行扩束准直，再经过分束镜A(8)形成两路倍频激光光束(6a)和倍频激光光束(6b)，其中一路倍频激光(6a)经过分束镜B(9)又形成两路倍频激光(6c)和倍频激光(6d)，另一路倍频激光(6b)经过全反镜B(10)全反射，再经过分束镜C(11)的反射和透射也形成两路倍频激光(6e)和倍频激光(6f)，这四路倍频激光(6c)，倍频激光(6e)，倍频激光(6d)，倍频激光(6f)中，有两路倍频激光(6c)和倍频激光(6e)分别经过分束镜B(9)和分束镜C(11)反射，再分别通过聚焦镜A(14)和聚焦镜B(15)聚焦，另外两路倍频激光(6d)和倍频激光(6f)分别经过分束镜B(9)和分束镜C(11)透射后，再经全反镜C(12)和全反镜D(13)反射，通过聚焦镜C(16)聚焦镜D(17)聚焦；分束镜B(9)与分束镜C(11)，全反镜C(12)，全反镜D(13)的法线方向均相互平行，且各镜上的倍频激光入射点分别位于一个矩形的四个顶点，这样所形成的四路倍频激光(6c)，倍频激光(6d)，倍频激光(6e)，倍频激光(6f)相互间平行，经过4个焦距相同的聚焦镜A(14)，C(16)，B(15)，D(17)聚焦进行加工；呈矩形分布的分束镜B(9)，分束镜C(11)，全反镜C(12)和全反镜D(13)与同样呈矩形分布的聚焦镜A(14)，聚焦镜B(15)，聚焦镜C(16)，聚焦镜D(17)，按照如下分组进行机械固定：分束镜B(9)和聚焦镜A(14)，分束镜C(11)和聚焦镜B(15)，全反镜C(12)和聚焦镜C(16)，全反镜D(13)和聚焦镜D(17)，这样四个聚焦镜A(14)、B(15)、C(16)、D(17)所聚焦的焦点之间相互位置也位于相同大小的矩形的4个顶点位置；待加工的太阳能电池板放置在X-Y机械平台(18)上，该X-Y机械平台(18)由螺杆或直流电机提供动力，完成X或Y方向的运动，X-Y机械平台(18)的底座有固定脚，可以调整X-Y机械平台的X轴向或Y轴向与四个聚焦镜A(14)、B(15)、C(16)、D(17)的焦点形成的矩形的边大致平行，聚焦镜A(14)、B(15)、C(16)、D(17)所依附的机械装置具有位移微调，使X-Y机械平台(18)沿着X或Y方向运动时，运动方向与聚焦镜A(14)、B(15)、C(16)、D(17)的焦点的相互位置所形成的矩形的四个边分别平行。