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发明名称 NANO-LITHOGRAPHY APPARATUS FOR BEING CAPABLE OF HIGH RESOLUTION TRANSFER AND ACTIVE ATTITUDE CONTROL OF CYLINDRICAL SUBSTRATE AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20090050871(A) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070117535 申请日期 2007.11.16
申请人 KOREA ELECTRO TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 发明人 LEE, DONG YEON;OH, HYUN SEOK;JEON, JEONG WOO;CHUNG, SUNG IL;KANG, DO HYUN
分类号 G03F7/20;G03F7/24 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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