机械手监控和自动复位系统

摘要

本发明公开了一种机械手监控和自动复位系统，其包括，设备主控制系统，发出搬送硅片的传动信号使机械手开始运作；机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；光信号发射器，接收设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号；数据分析判断模块，根据光接收信号器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到所述设备主控制系统。本发明可自动有效控制机械手的微量偏差，同时对偏差量进行分析和判断并做出报警或对偏差进行自动调整。

主权项

1、一种机械手监控和自动复位系统，其特征在于，包括：设备主控制系统，发出搬送硅片的传动信号使机械手开始运作；机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；光信号发射器，接收设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号；数据分析判断模块，根据光信号接收器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到所述设备主控制系统；所述设备主控制系统，接收所述数据分析判断模块反馈的报警信号、正常作业信号或补正信号后，发出报警、正常作业或补正指令；所述数据分析判断模块，根据接收到的偏差量，先判断是否超过异常报警的预定值，根据判断，发出报警信号或正常作业信号反馈给设备主控制系统，所述设备主控制系统发出报警或正常作业的指令；同时，所述数据分析判断模块继续与各标准进行比对或运算，并调用其它片盒数据进行分析和判断后发现异常时，再次发出补正信号反馈给设备主控制系统，所述设备主控制系统发出补正指令。