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发明名称 MAGAZINE STAGE AND APPARATUS FOR PROCESSING A SUBSTRATE HAVING THE MAGAZINE STAGE
摘要
申请公布号 KR20090050143(A) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070116413 申请日期 2007.11.15
申请人 SECRON CO., LTD. 发明人 CHOI, IL RAK;LEE, HANGL LIM;KIM, HWAN BIN
分类号 H01L21/68;H01L21/677 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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