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Es wird ein Verfahren zum Prüfen eines Sauerstoffsensors angegeben, der einen Erfassungsteil mit einer Bezugselektrode, einer Erfassungselektrode und einer Sauerstoffionen leitenden soliden Elektrolytschicht zwischen der Bezugselektrode und der Erfassungselektrode umfasst. Das Prüfverfahren umfasst Schritte zum Lesen eines ersten Ausgabewerts des Sauerstoffsensors, während der Erfassungsteil des Sauerstoffsensors einem ersten Prüfgas ausgesetzt wird, zum anschließenden Lesen eines zweiten Ausgabewerts des Sauerstoffsensors, während der Erfassungsteil des Sauerstoffsensors einem zweiten Prüfgas ausgesetzt wird, wobei sich das erste Prüfgas in der Sauerstoffkonzentration von dem ersten Prüfgas unterscheidet, und zum Bestimmen des Sauerstoffsensors als defekt oder nicht defekt auf der Basis des ersten und des zweiten Ausgabewerts.
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