发明名称 WAFER REVERSE UNIT FOR SEMICONDUTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100898048(B1) 申请公布日期 2009.05.19
申请号 KR20070101870 申请日期 2007.10.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/687 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址
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