光罩之制造方法

摘要

本发明系提供一种可定量地表现光罩之制造难易度，并有效率地制造光罩之技术。以藉由遮罩制造负荷预测系统之计算所求出之遮罩制造负荷指数相对地掌握遮罩布局、制品及各遮罩层不同之遮罩制造难易度，于布局可修正之阶段，将最终布局修正为难易度低者，于早期时点从遮罩订制者向遮罩制造者提供关于遮罩制造难易度之资讯。遮罩制造负荷指数系以缺陷保证负荷指数及描绘负荷指数表示。