用于在干涉仪产生规格信号之方法及系统

摘要

一种方法被揭露，其包括：对于具有不同反射率之在一测试物体上的一测试表面之多重区域的每一个，使用一干涉系统以第一操作模式测量各区域，第一操作模式系在多种角度及波长之间测量有关区域反射率的资讯；使用同样的干涉系统以第二操作模式测量测试表面，第二操作模式系在包括至少一些的多重区域之范围内干涉地描绘测试表面的表面形貌的轮廓；及基于有关多重区域的反射率之资讯修正轮廓以减少误差。