具有经塑形轮廓之定位环

摘要

本发明揭示一种具有弯曲表面的定位环。当定位环用在研磨制程时，弯曲表面可以避免对于固定磨蚀粒的研磨垫的损坏。弯曲表面位于环的底表面上，例如沿着外径与/或沿着形成在环之底部中之通道的侧壁。