立型连续式溅镀设备之基板传输装置

摘要

一种立型连续式溅镀设备之基板传输装置，基板系由载具所搭载，且在真空腔体下方设置传输动力单元，载具的底端系与传输动力单元接触，用以传输垂直式摆置之基板，在相对于基板的两侧的腔体内侧面相对应位置，各分别设置至少一磁性元件，且相对应的磁性元件之磁性大小相同，由于载具本身为金属材质或设置有磁柱，故可藉由相对应磁性元件对载具所产生的非接触式磁力稳定作用，避免基板因重心不稳倾倒而导致基板表面碰撞或刮伤，以取代传统接触式辅助装置，本装置亦可同时应用至单片基板双面镀膜或双片基板单面镀膜。