沉积电绝缘层的方法

摘要

本发明系一种操作电弧源的方法，这种方法是在一个目标的表面点燃或操作一个火花放电，并同时供给一个搭配直流电压DV之直流电及一个由周期循环的电压信号产生的脉冲电流给火花放电。电弧源上的电压被提高的时间达数微秒之久，而且原则上可以自由调整电压信号的信号形状。