以可微加工材料或硅制造时计摆轮游丝组件的方法

摘要

本发明涉及以可微加工材料或硅制造时计摆轮游丝组件的方法。具体地，一种以硅制造摆轮游丝组件(1)的方法，该组件包括在平面(P)中在给定晶体取向的晶片中获得的游丝(2)。所述组件(1)的体积被分解成子部件，所述子部件内接于正割成对的平行六面体棱柱中，在连接区域处彼此垂直，每一个在针对其厚度或晶体取向所选择的晶片中制成。在所述游丝(2)的平面的正交平面中获得终端弯曲(4)，将其直接连接至空间中的某点，该点向所述平面(P)的投影位于所述游丝(2)的外部。在所述连接区域处用组装装置组装所述子部件。本发明也涉及包括被组装至经由该方法获得的组件的连接点的时计。

主权项

一种以可微加工材料或硅三维地制造时计摆轮游丝组件(1)的方法，该组件包括在具有给定晶体取向的可微加工材料或硅的晶片中获得的以可微加工材料或硅为材料的游丝所形成的第一平坦部件(2)，所述第一平坦部件在一侧从基准面(P)延伸，其特征在于：‑所述摆轮游丝组件的体积被分解成基本体积，每个基本体积内接于基本平行六面体棱柱中，所述基本六面体棱柱至少成对地正割于连接区域，所述基本体积彼此垂直并形成相同数量的子部件，每个子部件在由其厚度和晶体取向确定的可微加工材料或硅的晶片中获得，每个所述晶片平行于晶片平面延伸；‑所述子部件的至少一个，称作第二部件，被制造为形成所述摆轮游丝组件(1)的终端弯曲(4)，将所述第一平坦部件(2)直接连接在空间中的某点，该点向所述基准面(P)的投影位于所述第一平坦部件(2)的外部，所述终端弯曲(4)位于所述第一平坦部件(2)的平面的正交平面中；‑在所述连接区域处用组装装置来组装所述子部件。