| 摘要 |
一种锯齿状多层膜的制作方法，是先取得一个周期性基板，且于周期性基板上形成一层锯齿状修整层，其中可以离子束溅镀系统(Ion Beam Sputtering System)与偏压蚀刻系统(Bias Etching System)制作上述锯齿状修整层。接着，重复进行以下步骤a和b：a)藉由离子束溅镀系统在前述锯齿状修整层上形成一层第一披覆膜层；以及b)藉由离子束溅镀系统进行沉积，并藉由偏压蚀刻系统进行修整，以于第一披覆膜层上形成锯齿状外貌的第二披覆膜层。依照上述方法能够制作自我复制式锯齿状多层膜。 |
