具有整合之电接点的基板夹持器

摘要

一种基板固持与运送组件。该基板固持与运送组件包含一底板以及一对夹钳，该对夹钳于一隔开定位连接至该底板，该对夹钳的该隔开定位能够以至少两独立点支撑一基板。该基板固持与运送组件亦包含一电极组件，该电极组件连接至该底板之实质上位于该对夹钳之间的一位置。当该基板存在且被该对夹钳固持时，该电极组件被界定给予该基板一电接触。