发明名称 DETECTEUR DE RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE A CONNEXION PAR NANOFIL ET PROCEDE DE REALISATION
摘要 Le détecteur de rayonnement électromagnétique comporte au moins une membrane d'absorption (1) du rayonnement transformant l'énergie absorbée en chaleur, transmise à au moins un thermomètre (6) résistif, ayant une résistance variant en fonction de la température. Chaque membrane d'absorption (1) est suspendue au-dessus d'un substrat (2) par un nanofil (8), relié à la zone centrale de la membrane (1). Le nanofil (8) comporte une âme (9) électriquement conductrice et une couche extérieure (11) électriquement conductrice, isolées électriquement l'une de l'autre et respectivement connectées à des zones de mesure dudit thermomètre (6). Le nanofil sert donc à la fois de support de la membrane et de connexion électrique entre les zones de mesure et un circuit disposé au niveau du substrat.
申请公布号 FR2923601(A1) 申请公布日期 2009.05.15
申请号 FR20070007917 申请日期 2007.11.12
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 OUVRIER BUFFET JEAN LOUIS;GRUSS JEAN ANTOINE
分类号 G01J5/20;G01J5/02 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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