| 发明名称 |
ATOMSCHICHTENABSCHEIDUNGSVERFAHREN UND VORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60326979(D1) |
申请公布日期 |
2009.05.14 |
| 申请号 |
DE20036026979 |
申请日期 |
2003.09.26 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
SANDHU, GURTEJ S.;DOAN, TRUNG TRI |
| 分类号 |
H01L21/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/316;H01L21/673;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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