一种透明导电膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种透明导电膜的制备方法，包括以下步骤：(1)在透明基板上用有机材料形成图案；(2)开启气相沉积源，在该基板上以物理气相沉积方式沉积一层透明导电膜；(3)开启气相沉积源，在透明导电膜上以物理气相沉积方式沉积一层透明保护膜；(4)将该基板上的有机材料以及其上的透明导电膜和透明保护膜去除。本发明在制备透明导电膜之后随即沉积一层保护膜，因此在沉积保护膜之前透明导电膜并未暴露于空气而氧化。保护膜不仅能较好的防止或减缓透明导电膜的氧化，同时因其具有较高的硬度而具有防划功能、具有较低的折射率而具有减反功能。

主权项

1、一种透明导电膜的制备方法，包括以下步骤：(a)在透明基板上用有机材料形成图案，其中欲形成透明导电膜处无有机材料，不欲形成透明导电膜处有有机材料；(b)开启气相沉积源，在该基板上以物理气相沉积方式沉积一层透明导电膜；(c)开启气相沉积源，在(b)沉积的透明导电膜上以物理气相沉积方式沉积一层透明保护膜；(d)对该基板进行脱膜处理，即将基板上的有机材料以及其上的透明导电膜和透明保护膜去除。