液滴喷头及液滴喷出装置

摘要

本发明提供尺寸精度及耐药品性优越，能够长期进行高品质的印字的可靠性高的液滴喷头、及具备所述液滴喷头的可靠性高的液滴喷出装置。喷墨式记录头(1)具有：形成有喷出液贮存室(21)的基板(20)、设置于基板(20)的下表面，且具备喷嘴孔(11)的喷嘴板(10)、和以覆盖喷出液贮存室(21)的方式设置于基板(20)的上表面的密封片(30)，基板(20)和喷嘴板(10)经由各接合膜(151、152)接合，该各接合膜(151、152)分别包含：含有硅氧烷键，且具有无规的原子结构的Si骨架和在该Si骨架结合的脱离基，通过赋予能量，在各接合膜(151、152)的表面附近存在的脱离基从Si骨架脱离，利用显示的粘接性，接合基板(20)和喷嘴板(10)。

主权项

1. 一种液滴喷头，其特征在于，具有：基板，其形成有贮存喷出液的喷出液贮存室；喷嘴板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置在所述基板的一个面上，且具备将所述喷出液作为液滴喷出的喷嘴孔；密封板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置于所述基板的另一个面上，所述基板和所述喷嘴板经由在所述基板的表面上设置的第一接合膜及在所述喷嘴板的表面上设置的第二接合膜接合，所述第一接合膜及所述第二接合膜分别包括：含有硅氧烷(Si—O)键且具有无规的原子结构的Si骨架和与该Si骨架结合的脱离基，分别通过向所述第一接合膜及所述第二接合膜的至少一部分区域赋予能量，使在所述第一接合膜的表面附近及所述第二接合膜的表面附近存在的所述脱离基从所述Si骨架脱离，利用在所述第一接合膜的表面及所述第二接合膜的表面的所述区域显示的粘接性，接合所述基板和所述喷嘴板。