凹面星形栅控阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种凹面星形栅控阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管阴极以及凹面星形栅控阴极阵列结构；能够进一步缩短栅极-阴极二者之间的距离，在增强栅极控制能力的同时有效地降低器件的工作电压，提高器件的显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种凹面星形栅控阴极阵列结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[9]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[14]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[10]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[12]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[13]以及消气剂附属元件[15]；其特征在于：在阴极玻璃面板上有控制栅极[6]、碳纳米管阴极[8]以及凹面星形栅控阴极阵列结构；所述的凹面星形栅控阴极阵列结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板[1]；阴极玻璃面板[1]上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层[2]；阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅层形成阴极增高层[3]；阴极增高层从纵向上看是一个两侧高、中间低的盆地型形状，从俯视角度来看是圆面形状；阴极增高层的周围高处是一个平面，是用来制作绝缘隔离层[5]；阴极增高层从周围高处到中心最低处形成一个斜坡面，是用来制作碳纳米管阴极的；阴极增高层的中心部位的二氧化硅被刻蚀掉，暴露出底部的阴极引线层[2]；阴极增高层斜坡面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层[4]；阴极导电层[4]在阴极增高层的最低处和阴极引线层[2]相互连通；阴极导电层并不是全部布满阴极增高层的斜坡面上的，而是呈现一种五角星型形状位于阴极增高层的斜坡面上；阴极增高层最高处平面上的刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘隔离层[5]；绝缘隔离层形成一个圆环柱型结构环绕在阴极增高层上面的周围；绝缘隔离层上面的刻蚀后的金属层形成栅极导电层[6]；栅极导电层大部分都位于绝缘隔离层的上面，但是前端靠近阴极增高层中心方向的栅极导电层要伸出绝缘隔离层，形成一种悬空状态；栅极导电层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层[7]；栅极覆盖层要覆盖住位于绝缘隔离层上面的栅极导电层[6]，但不得覆盖住呈现悬空状态部分的栅极导电层；碳纳米管[8]制备在阴极导电层[4]的上面。