| 发明名称 | 用于气体轴承的涂层 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种其中气体轴承被涂覆硬层的真空泵，并涉及一种用于制备这样的真空泵的气体轴承的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101432526A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200780015551.3 | 申请日期 | 2007.04.19 |
| 申请人 | 欧瑞康莱宝真空公司 | 发明人 | R·布卢门撒尔;M·弗罗伊茨海姆 |
| 分类号 | F04D29/056(2006.01)I | 主分类号 | F04D29/056(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳;杨 琦 |
| 主权项 | 1. 一种真空泵(1)，无润滑剂且包括吸入口(2)、排出口(3)和承载支撑在气体轴承(5)中的气体轴承转子(16)的轴(4)，其特征在于：至少面向轴(4)和/或面向气体轴承转子(16)的气体轴承表面(9)具有硬层(10)，该硬层(10)具有在0.5至30μm范围内的层厚，并且由在0.01N的测量力下具有至少1000HK的显微硬度的材料制成。 | ||
| 地址 | 德国科隆 | ||