光刻设备及器件制造方法

摘要

一种具有高驱动力、高效率和低法向力的直线马达，包括两个相对磁体轨道11、12和电枢13，电枢包括三个开路线圈组。直线马达可以用于在光刻投影设备中驱动一工作台，特别是掩模台。

主权项

1. 一种光刻投影设备，包括：用于提供辐射投影光束的辐射系统；用于支撑构图装置的支撑结构，所述构图装置用于根据所需的图案将投影光束图案化；用于保持基底的基底台；用于将带图案的光束投影到基底的目标部分上的投影系统；用于移动所述支撑结构和所述基底台之一的直线马达；其特征在于：所述直线马达包括第一和第二磁体板，所述磁体板彼此相对，一开路线圈组件位于所述磁体板之间，所述线圈组件包括多个卷绕在相应铁磁芯周围的线圈，所述磁体板和所述线圈组件可相对移动；所述线圈组件还包括至少一个额外的铁磁元件，其不具有卷绕于其上的线圈并与所述线圈中最外面的一个隔开。