| 发明名称 | 超分辨菲涅耳波带片 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种超分辨菲涅耳波带片，该超分辨菲涅耳波带片是在普通的菲涅耳波带片上集成刻蚀等孔径的超分辨位相片，从而形成普通菲涅耳波带片和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相板。本发明将超分辨技术的圆孔衍射数学处理工具和普通菲涅耳波带片结合起来，实现了菲涅耳波带片聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布，即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。 | ||
| 申请公布号 | CN101430428A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200810227458.5 | 申请日期 | 2008.11.25 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 贾佳;谢长青;刘明 |
| 分类号 | G02B27/44(2006.01)I;G02B27/48(2006.01)I | 主分类号 | G02B27/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 | 代理人 | 王建国 |
| 主权项 | 1、一种超分辨菲涅耳波带片，其特征在于，该超分辨菲涅耳波带片是在普通的菲涅耳波带片上集成刻蚀等孔径的超分辨位相片，从而形成普通菲涅耳波带片和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相板。 | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 | ||