发明名称 | 图像传感器及其制造方法 | ||
摘要 | 一种图像传感器及其制造方法,该方法包括:设置具有光电二极管的半导体衬底,在光电二极管上方形成滤色器,在滤色器上方形成微透镜以及在微透镜的外缘处形成垂直贯穿微透镜的至少一个金属层。 | ||
申请公布号 | CN101431090A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
申请号 | CN200810175817.7 | 申请日期 | 2008.11.04 |
申请人 | 东部高科股份有限公司 | 发明人 | 文相台 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李丙林;张 英 |
主权项 | 1. 一种器件,包括:层间绝缘膜,在包括光电二极管的衬底上方形成;滤色器层,在所述层间绝缘膜上方形成;微透镜阵列,在所述滤色器层上方形成;以及金属层,垂直贯穿所述微透镜阵列中的每个微透镜。 | ||
地址 | 韩国首尔 |