发明名称 元件表面的加工方法
摘要 本发明公开一种元件表面的加工方法,包括提供一具有可感光与可挠曲特性的薄膜,其具有一微结构图案;再提供一元件,并将具有微结构图案的薄膜紧密贴合于该元件的曲面表面;接着对薄膜暴露出的表面的暴露区域进行一表面加工制作工艺;以及去除薄膜,以于该元件的表面形成一微结构。
申请公布号 CN101430504A 申请公布日期 2009.05.13
申请号 CN200710186010.9 申请日期 2007.11.09
申请人 台达电子工业股份有限公司 发明人 袁宗廷;李政璋;张恒中;陈煌坤;邢泰刚
分类号 G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;F16C33/04(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陈小雯
主权项 1. 一种元件表面加工方法,包括:提供具有可感光与可挠曲特性的薄膜,该薄膜具有微结构图案;提供元件,将具有该微结构图案的该薄膜紧密贴合于该元件的表面,其中该薄膜暴露出部分该元件的该表面,而形成至少一暴露区域;对该元件的该表面的该暴露区域进行表面加工制作工艺;以及去除该薄膜,以于该元件的该表面形成微结构。
地址 中国台湾桃园县
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