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发明名称
MAPPING APPARATUS FOR FOUP OPENER
摘要
申请公布号
KR20090047919(A)
申请公布日期
2009.05.13
申请号
KR20070114021
申请日期
2007.11.09
申请人
KOREA TECHNO CO., LTD.
发明人
KIM, HO JIN;LEE, JAE HOON
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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