发明名称 METHOD FOR FORMING INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号 KR20090044543(A) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 KR20070110678 申请日期 2007.10.31
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, MYOUNG SOO;SHIM, KEW CHAN
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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