发明名称 Binäre sinusförmige Gitter unterhalb der Wellenlänge als Ausrichtungsmarkierungen
摘要
申请公布号 DE602006005886(D1) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 DE200660005886T 申请日期 2006.11.17
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 VAN HAREN, RICHARD JOHANNES FRANCISCUS;MUSA, SAMI
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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