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发明名称 APPARATUS FOR NANO IMPRINT AND METHOD FOR FORMING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20090044583(A) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 KR20070110723 申请日期 2007.10.31
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 HYUN, YOON SUK
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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