| 发明名称 |
Verfahren zur Röntgenstrahl-Mikroanalyse mit hoher räumlicher Auflösung in einem teilchenoptischen Gerät |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60231705(D1) |
申请公布日期 |
2009.05.07 |
| 申请号 |
DE20026031705 |
申请日期 |
2002.04.09 |
| 申请人 |
FEI CO. |
发明人 |
KWAKMAN, LAURENS F.;TROOST, KARS Z. |
| 分类号 |
G01N23/00;G01N23/225;G01Q10/00;G01Q30/02 |
主分类号 |
G01N23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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