超声波清洗用喷嘴和超声波清洗装置

摘要

本发明提供了一种可通过对清洗液提供低频带的超声波，去除附着在被处理物上的顽固污染，还可对清洗液提供约20kHz～10MHz的宽范围频带的超声波，可以通过较少的清洗液均匀实施清洗处理的超声波清洗装置。一种超声波清洗装置，具有超声波清洗用喷嘴(1)，由振动板(3a)、在振动板(3a)上固定的超声波振子(5)、在与振动板(3a)的振子固定面相对的侧面上相隔空间(7)而相对的底板(9)、向空间(7)供给清洗液的清洗液供给机构、具有在底板(9)上形成的开口部上设置的多个孔(10a)的整流板(10)构成，整流板(10)的板厚为5μm以上、λ/10以下的范围，设置了可控制机构，以控制向供给空间(7)的清洗液(11)提供了从振子(5)振荡的超声波振动的超声波清洗液(11a)作为连续流从上述开口部流出。

主权项

1、一种超声波清洗用喷嘴，其特征在于，包括振动板、在该振动板上固定的超声波振子、在与所述振动板的振子固定面相反一侧的面上相隔空间而对置着的底板、向所述空间供给清洗液的清洗液供给机构，和在所述底板上形成的开口部上、在所述底板与被处理物相对置的一侧设置的整流板，所述整流板设有形成了多个孔的区域并通过流路阻力控制液量；所述整流板的板厚为5μm以上、λ/10以下的范围，所述λ是由所述超声波振子振荡的超声波振动的整流板构成物质内的波长；所述整流板的形成了多个孔的区域的宽度为5mm以上、与所述超声波振子的宽度相同大小以下的范围；在所述整流板上形成的各孔的直径为0.001mm以上1mm以下的范围，相对整流板面积的开口率为20％以上90％以下的范围；设置有控制机构，其可以控制使得超声波清洗液在所述整流板和所述被处理物之间的间隙作为连续的流从所述开口部流出，所述超声波清洗液是向被供给到所述空间的清洗液给予了由所述超声波振子振荡的超声波振动的超声波清洗液。