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发明名称 ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY DEVICE AND DRAWING METHOD USING ELECTRON BEAMS
摘要
申请公布号 EP1267392(A4) 申请公布日期 2009.05.06
申请号 EP20000909767 申请日期 2000.03.21
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 WATANABE, TAKESHI
分类号 H01J37/302;(IPC1-7):H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
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