发明名称 存储器及其制造方法
摘要 本发明公开了一种存储器及其制造方法。该存储器包括绝缘底层、导体层、第一电荷储存结构以及第二电荷储存结构。绝缘底层设置于第一绝缘墙及第二绝缘墙之间。导体层设置于绝缘底层上,并位于第一绝缘墙及第二绝缘墙之间。第一电荷储存结构邻近于第一绝缘墙设置,并以该第一绝缘墙与导体层隔开。第二电荷储存结构离近于第二绝缘墙设置,并以第二绝缘墙与导体层隔开。
申请公布号 CN101425535A 申请公布日期 2009.05.06
申请号 CN200810081319.6 申请日期 2008.02.25
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 赖二琨;施彦豪;杨令武;郑俊民
分类号 H01L29/423(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I 主分类号 H01L29/423(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 彭久云
主权项 1. 一种存储器,包括:绝缘底层,设置于第一绝缘墙及第二绝缘墙之间;导体层,设置于该绝缘底层上,并位于该第一绝缘墙及该第二绝缘墙之间;第一电荷储存结构,邻近于该第一绝缘墙,并以该第一绝缘墙与该导体层隔开;以及第二电荷储存结构,邻近于该第二绝缘墙,并以该第二绝缘墙与该导体层隔开。
地址 中国台湾新竹科学工业园区
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