发明名称 |
存储器及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种存储器及其制造方法。该存储器包括绝缘底层、导体层、第一电荷储存结构以及第二电荷储存结构。绝缘底层设置于第一绝缘墙及第二绝缘墙之间。导体层设置于绝缘底层上,并位于第一绝缘墙及第二绝缘墙之间。第一电荷储存结构邻近于第一绝缘墙设置,并以该第一绝缘墙与导体层隔开。第二电荷储存结构离近于第二绝缘墙设置,并以第二绝缘墙与导体层隔开。 |
申请公布号 |
CN101425535A |
申请公布日期 |
2009.05.06 |
申请号 |
CN200810081319.6 |
申请日期 |
2008.02.25 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
赖二琨;施彦豪;杨令武;郑俊民 |
分类号 |
H01L29/423(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/423(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
1. 一种存储器,包括:绝缘底层,设置于第一绝缘墙及第二绝缘墙之间;导体层,设置于该绝缘底层上,并位于该第一绝缘墙及该第二绝缘墙之间;第一电荷储存结构,邻近于该第一绝缘墙,并以该第一绝缘墙与该导体层隔开;以及第二电荷储存结构,邻近于该第二绝缘墙,并以该第二绝缘墙与该导体层隔开。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |