| 发明名称 | 提供减小等离子体穿透和电弧的静电夹盘的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种提供减小等离子体穿透和电弧的静电夹盘的方法和设备。一个实施例包括板和电介质部件，其中电介质部件插入到板中。板适于定位在通道内以限定充气空间，其中，电介质部件提供耦合到充气空间的流体通路的一部分。形成在电介质部件上的多孔电介质层提供耦合到充气空间的流体通路的另一部分。在其它实施例中，流体分布元件包括部件的各种布置以限定不提供从用于衬底的支撑表面到充气空间的视线路径的流体通路。 | ||
| 申请公布号 | CN101425474A | 申请公布日期 | 2009.05.06 |
| 申请号 | CN200810134916.0 | 申请日期 | 2008.07.31 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 德米特里·鲁博弥尔斯克;陈兴隆;素提·贡德哈莱卡;卡泽拉·瑞玛雅·纳伦德瑞纳斯;穆罕默德·拉希德;托尼·考沙尔 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C30B25/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵 飞 |
| 主权项 | 1. 一种用于重新修整静电夹盘至少一部分的方法，包括：从所述静电夹盘的流体分布元件移除第一电介质部件；并且用第二电介质部件更换所述第一电介质部件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||